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分析・解析事例
2025.08.08
走査型電子顕微鏡‐エネルギー分散型X線分光法の原理
原理
走査型電子顕微鏡(SEM)においては、虫眼鏡(凸レンズ)で太陽の光を1点に集束するように、電子レンズを使って電子線を微小径に集束し、試料の上に照射します。この入射電子ビームを試料上で走査(電子線でなぞって試料の線・面の情報を得る)させ、試料から放出される二次電子像(主に試料表面の微細な凹凸像)及び反射電子像(組成像:平均原子番号・結晶方位に依存)を検出することで像を得る顕微鏡です。EDX(エネルギー分散型X線分析装置)を装備しており、観察領域における組成分析・元素マッピングができます。
測定事例(サイト内リンク)
用途例
- プリント基板、メッキ製品、セラミック等の表面形態観察
- 各種製品、異物の観察像の組成分析、元素分布状態分析
よくあるご質問
長所と短所を簡単に教えてください。
長所⇒光学顕微鏡に比べ焦点深度が大きく、高倍率で立体的な像が得られます。
短所⇒導電性がない試料は表面に電荷が溜り、鮮明な像が得られないので金属やカーボンを蒸着し導電性の付与が必要となります。ただし、低真空モードの反射電子像で観察することで蒸着することなく観察が可能な場合があります。
切断することなく観察可能な試料の大きさはどれぐらいですか？
φ10、高さ2cmまでは問題なく観察できます。それ以上の大きさでも可能な場合がありますのでご相談ください。
拡大倍率は何倍まで可能ですか？
試料にもよりますが、汎用SEMで500010000倍、FE-SEMで50000100000倍となります。
XRF-EDXとSEM-EDXの違いはどんな点がありますか？
XRF-EDXは重元素を得意としているのに対してSEM-EDXは軽元素を得意としています。
また、SEM-EDXでは拡大して測定部位を決めることができ100μm以下の大きさのものでも分析が可能です。