高周波誘導結合プラズマ質量分析計の原理

原理

ICPとは高周波誘導結合プラズマ(Inductively Coupled Plasma)のことを言います。このプラズマは、高周波コイルに高周波を流しトーチ部に電界を発生させ、そこにアルゴンガスを流し放電させることによって生成します。温度は6000~8000Kで、この中にキャリアガスとともに霧状化した試料を導入すると、試料中の元素がイオン化します。イオン化された元素は真空排気されたインターフェイス部を通り、質量分離部にて質量/電荷数(m/z)に分離され、検出器で電気信号として質量数別にイオンカウントされます。このカウント数が、検量線作成によって得られたデータを経て、各元素の液体中の定量値として示されます。

その他の事例(サイト内リンク)

• 岩石中の微量元素分析
• 製品の付着イオン分析

用途例

• 無機元素の定量(一部測定不可能な元素があります)
• 環境試料(水質・土壌)中の重金属元素の定量
• RoHS指令における環境負荷物質の量(Cd,Pb,T-Cr)
• 希土類元素の定量
• 得意元素・不得意元素はあるが、おおよそ定量下限はきれいな水中で、1μg/L程度