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2025.09.29

エネルギー分散型蛍光X線分析法の原理

原理

X線管で発生させたX線を試料にあてることによって、試料に含まれる元素固有のエネルギーを持った特性X線を発生させ、このX線をSi半導体検出器で検出し、試料を構成する元素の種類や大まかな含有量を調べます。本分析法は、非破壊で固体・粉体などの元素分析が迅速に行えます。

XRF-EDX principle

試料受け入れ条件:XRF-EDX

XRF-EDX sample acceptance conditions

その他の事例(サイト内リンク)

用途例

  • RoHS簡易定量分析(Cd,Pb,Cr,Hg,Br)
  • 材料の主体となる元素の分析
  • 大きさ数mm程度の異物の元素分析