オスミウムコートの原理

原理

導電性のない試料のSEM観察には、帯電を防ぐためのコーティングが必要です。オスミウムコーターは、真空チャンバー内に酸化オスミウムガスを導入し、放電によりプラズマ化させることで、試料にオスミウムをアモルファス (非晶質) コーティングします。オスミウムをコーティングすることで、白金やカーボンでのコーティングに比べ、より高倍率で微細な構造の観察が可能になります。 

オスミウムコートのメリット

1. オスミウムは粒状にならず、高倍率でのSEM画像が撮影できる
2. 触媒など白金を含む試料の元素分析ができる
3. オスミウムが硬い保護膜となり、生体試料など熱に弱い試料のSEM画像が撮影できる
4. 帯電による影響のない高品質な SEM画像が撮影できる
5. 帯電しやすい試料の画像撮影に掛かる時間が短縮できる (30分⇒5分/検体)
6. 硬い保護膜により、TEM用試料の作成に必要な保護膜を容易に形成することができる

コーティング状態の比較

Fig.1　コーティング状態の比較

品質の比較

Table 1　品質の比較

EDX分析への妨害低減

Fig.2　EDX分析への妨害低減

用途例

• 熱ダメージなくメンブレンフィルターに捕集した異物を観察するための前処理
• 生体等の熱に弱い試料の観察前処理
• 複雑な試料の観察前処理(オスミウムの回り込みが良いため)