CASES
SiCの不純物分析
波長分散型蛍光X線分析による含有元素の定性及び半定量を行うことで、SiC中の不純物の元素とそのおおよその量を確認することができます。なお、更なる正確な定量には、ICP発光分析法による分析が必要となります。
Fig.1 分析方法の選び方
外観写真・分析概要
粉末状のSiCに対して、バインダーを用いてプレス成型を行い、試料ホルダーにセットして、蛍光X線分析を行いました。
Fig.2 試料外観
1. 試料の秤量
2. バインダーとの混合
3. 塩ビリング内へ混合試料を移す
4. プレス成型用ダイスにセット
5. 油圧ジャッキによるプレス
6. プレス成型後試料
7. 試料をフォルダーへセット
8. フォルダーへセット完了
9. フォルダーを装置へセット
Fig.3 測定前処理
分析結果
蛍光X線の分析結果から、SiC粉末には不純物としてAl、P、S、Ca、Fe、Niが含まれることが分かりました。
Fig.4 定性分析チャート
用途例
- 触媒の元素分析、セラミックの元素分析、ススの元素分析等
よくある質問
SQX分析法とは何ですか？
SQX (Scan Quant X)分析は定性分析で検出された成分について、標準試料を用いずに半定量値を算出するFP (ファンダメンタルパラメータ)法を用いた分析プログラムです。
試料の状態・形状に制約はありますか？
固体に対応可能です。多少のガス・水分は問題ありませんが、液体試料は対応不可です。
分析にはどのぐらいの試料量が必要ですか？
1 g以上必要ですが、それ以下でも対応可能な場合がありますのでご相談ください。
バインダーなしでプレス成型は可能ですか？
試料により可能な場合がありますのでご相談ください。
定量下限はどれぐらいですか？
元素によりますが、0.01 ％から0.1 %程度が定量下限となります。
測定できない元素はありますか？
RhをX線の発生源に用いていますのでRhは測定できません。また、Rhに近い元素も測定できない元素があります。詳細はX-0006 波長分散型蛍光X線分析法の原理の <XRF-WDX測定対象元素>をご参照ください。
軽元素の分析は可能ですか？
軽元素分析用の分光結晶を用いることで、BからUの元素の検出が可能です。
ただし、バインダー (成分はCとO)を用いた場合は、CとOは定量対象外となります。
波長分散型蛍光Ｘ線分析より定量精度の高い分析は可能ですか？
湿式分析 (ICP-AES・ICP-MS等)にて対応しております。
※更なる正確な定量には、ICP発光分光分析法による分析が必要となります。