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材料の洗浄工程で使用した洗浄油が付着していないことを示す清浄度試験として、付着油の量的評価を行います。
目次
溶媒で材料を洗浄し、洗浄液についてFT-IR測定して付着油量を求めます。
Fig.1 油の付着したサンプル
付着油及び標準試料をそれぞれ溶媒に溶解し、FT-IR測定にて比較測定することで付着油の量的評価が行えました。
Fig.2 FT-IR測定における油のスペクトル
さらに微量な付着油の量的評価や油の種類の特定は、本分析法では困難なため、必要に応じてGC/MS法を選択します。