高周波誘導結合プラズマ発光分析計の原理

原理

ICPとは高周波誘導結合プラズマ(Inductively Coupled Plasma)のことを言います。このプラズマは、高周波コイルに高周波を流しトーチ部に電界を発生させ、そこにアルゴンガスを流し放電させることによって生成します。温度は6000Kから8000Kにも達し、この中にキャリアガスとともに霧状化した試料を導入すると、試料中の元素がフリーの原子まで分解します。さらにその原子を励起状態まで遷移させ、基底状態に戻るときに放出する光を計測します。励起状態から基底状態に遷移したときに発する光のエネルギーEは元素ごとに異なるので、その光の波長λも元素ごとに異なります。光の波長から液体中元素の定性分析を、その発光強度から液体中元素の定量分析を行うことができます。

Fig.1　ICPE9000(SHIMADZU)

用途例

• 無機元素の定性・定量
  (一部測定不可能な元素があります)
• 液体・固体試料の約70元素の定性分析
• 鉄鋼・セラミックなどの材料中元素の成分分析
• 得意元素・不得意元素はあるが、おおよそ定量

　下限はきれいな水中で、0.1mg/L程度