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SiC中の有害元素分析

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分析概要

SiC (炭化ケイ素)は、シリコンカーバイドと呼ばれ、その優れた動作特性から主に半導体関連材料としてエレクトロニクス機器などに使用されています。また近年、ディーゼル車の排出する煤塵の集塵用フィルター (DPF)材料としても使用されています。

炭化ケイ素 (SiC)の認証標準物質であるJCRM R 021を加圧酸分解し、有害元素であるCr (クロム)、Pb (鉛)、Cd (カドミウム)、Hg (水銀) をICP質量分析装置及び還元気化原子吸光光度計にて測定します。

Fig.1　JCRM R 021

日本セラミック協会認証標準物質JCRM R 021炭化ケイ素認証書 Fig.2　日本セラミックス協会認証標準物質 JCRM R 021炭化けい素(ファインセラミックス用)認証書

標準物質のCrの測定結果は良好でした。

Table 1　分析結果まとめ

測定対象試料について、当社では、製品ではなく「原料としてのSiC粉末」もしくは「粉末化できる焼成体」を分析対象としております。