CASES
電子基板に付着した異物の分析
電子基板上で発見された異物について、発生源を推定し、その対策を実施することが、品質管理において非常に重要な課題となります。
FT-IR測定では、極微小な異物の成分を調べることで、有効な対策につなげることができます。
異物の問題でお困りのお客様は、お気軽にお問合せください。当社技術者が直接お打合せさせていただき、問題解決の道筋をご提案いたします。
外観写真・分析概要
- 顕微鏡観察及び採取するときに、基板上の異物には粘着性があることが確認されました。
- FT-IR分析の結果以外に、異物の外観や感触は化合物推定の重要な手がかりとなります。
Fig.1 基板上に付着した異物(100倍)
- マイクロサンプリング (機械アームをマウスで操作して採取する方法)は、先端がピンセット、プローブ、ピーラー、カッターなどの多種類のタイプを保有しており、用途に合ったものを選択して使用します。
- マイクロサンプリングにより、異物は30 μm程度の大きさから採取可能です。
Fig.2 マイクロサンプリングの様子
分析結果
異物を採取して分析を行った結果、異物はアクリル樹脂であることがわかりました。
Fig.3 異物のFT-IRスペクトル Fig.4 アクリル樹脂のFT-IRスペクトル
異物のFT-IRスペクトルは、ライブラリー内のアクリル樹脂のFT-IRスペクトルと類似しており、異物はアクリル樹脂であると推定されます。アクリル樹脂はテープの粘着層などに使用されることから、異物はテープの粘着層が付着したものであると推定されました。
用途例
- 基板上に付着した塗料・塗膜片
- 電子基板に付着した異物の分析
Q&A
分析可能な試料サイズを教えてください。
目に見える異物の大きさ (100μm程度)であれば測定可能です。それよりも小さい場合 (30μm 程度)でも、マイクロサンプリング (機械アームを使って異物を採取する方法)にて採取することで測定可能です。
さらに30μm以下の異物でも、サンプルの状態に応じて最適な分析方法を提案させていただきます。
異物を分析したいのですが、どのように相談したらいいですか。
当社問合せフォームよりご入力いただき、その際に異物の詳細な情報 (サイズが分かる写真、予想物質)などをいただけるとスムーズにご提案できます。
送付するときの試料の梱包方法を教えてください。
異物をガラス容器やスライドガラスなどで挟んでご提供をお願いします。
粘着テープに付けて採取されますと、粘着剤が測定を妨害する可能性があります。
採取が困難な場合は、試料採取方法からお問合せください。
異物のみを分析すれば物質名とその用途まで分かりますか？
ライブラリー検索を行い、該当する化合物がヒットすれば特定することができます。
ヒットしない場合、特定に至らない場合もございます。
報告書には、特定した化合物の一般的な用途を記載致します。
予想される物質があれば、比較物質も同時に分析依頼したほうが宜しいでしょうか？
主成分が同じでも添加剤などの副成分が異なる場合もございますので、予想される物質もご提供いただければ正確に比較することが可能です。
分析依頼をしてから、どれくらいで分析結果をもらえますか？
試料受領後、翌日起算10営業日程度でメール速報さしあげます。
お急ぎの場合は、可能な限りご要望にお応えします。別途、特急料金をいただく場合もございます。
埋没した異物を測定することはできますか。
埋没している径や深さにもよりますが、一般的には顕微ATR法やマイクロサンプリングにより採取を行い、顕微透過法による測定を行います。深さがある場合や径が小さい場合は、ミクロトームなど断面切削を行って薄片を作製し、測定を行います。
その他にnanoIR、TOF-SIMS、顕微ラマンによる測定も可能ですが、埋没状態によってはできない場合もあります。サンプル状態により最適な分析方法が異なりますので、まずはお気軽にご相談ください。
異物の厚みが1以下の場合でも測定可能ですか。
金属表面の異物であれば、そのままの状態で顕微反射法にて測定可能です。
樹脂上の異物であれば、採取を行い測定を行います。
異物の大きさが小さい (30μm以下)場合は、FT-IR法以外の分析方法をご提案をさせていただきます。
サンプル状態により最適な分析方法が異なりますので、まずはお気軽にご相談ください。